详细摘要: NorthStar ALD原子层沉积系统提供各种淀积方法,包括热淀积以及能量增强淀积。每台设备可以提供多达8个源管路以及一个热壁淀积腔,使其应用范围极为广泛。设...
产品型号:ALD-05所在地:国外更新时间:2018-05-15 在线留言北京中精仪科技有限公司
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